主办：物理学科基础课实验教学示范中心

时间：2014年6月5日（星期四）下午2:30

地点：理六栋225（多功能厅）

报告人：符斯列博士

题目：低温等离子体化学气相沉积III-V 族氮化物薄膜及其特性研究

摘要：低温等离子体技术由于具有无内电极放电、无污染、等离子体密度高、电离效率高等优点已经广泛应用于微电子领域，如微电路干法刻蚀以及薄膜材料制备、材料改性等方面。由于低温等离子体能在自加热条件下通过碰撞激发、电离、离解反应气体而获得高密度活性基，因而能够实现高温材料的低温合成，如能在低温条件下实现III-V族氮化物薄膜的生长。本报告重点介绍电子回旋共振等离子体（ECR）化学气相沉积工艺低温沉积III-V族氮化镓薄膜，并汇报研究组在ECR等离子体参数诊断、等离子体发射光谱分析、氮化镓薄膜材料表征等方面所做的工作。最后进一步介绍实现氮化镓薄膜室温磁性化的低温等离子体制备方法。

报告人：吴先球博士

题目：物联网背景下的物理科普实验远程共享技术研究

摘要：物联网背景下的物理科普实验远程共享,在异地完成真实的科普实验过程和科学探究，实现科普实验资源的远程共享,使科学技术的普及更有效。在报告中将简要介绍在高等师范院校开展科普实验远程共享的优势、基于虚拟仪器技术的物理科普实验开发与展示，以及在基础教育中推广应用设想。

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